产品介绍
CTLS-4500、CTLS-4500M 大口径表面微细瑕疵快速检测设备采用聚焦激光为光源，通过检测表面瑕疵对聚焦激光的散射信号，可以检测到各种微小的表面瑕疵，如划痕、麻点、污渍、裂纹、缺膜等，检测灵敏度可达亚微米级。通过快速扫描聚焦激光束及同步移动被测样品，可以快速检测大口径的光学表面瑕疵。

CTLS-4500M系统配备的一个干显微镜为定量观测检测到的表面瑕疵提供了有效的测量手段。可检测最大尺寸为450mmx450mm。